第五章 工
实现集成电路制造工艺过程的仿真，对某器件、电路的某一工艺环节进行模拟同对其全工序进行模拟一样，在模拟之前都要对工艺过程以及初始结构参数、环境参数进行排队和复核。并将其与SUPREM-2系统所设置的类型标识符相对
§5-1 SUPREM-2工艺仿真
若按模拟输入卡格式语句执行程序的功能来划分，模拟输入