新型光电子材料
一、引言:21世纪是高度信息化的社会
超大容量信息传输、超快实时信息处理和超高密度信息存储是21世纪信息社会追求的目标,发展信息功能材料是基础。 主要介绍近年来光电信息功能材料,特别是半导体微电子、光电子材料,半导体纳米结构和量子器件等的研究进展。
2.1 硅微电子技术发展趋势 硅(Si)材料作为当前微电子技术的基础,预计到本世纪中叶都不会改变。 从提高硅集成电路(ICs)性能价格比来看,增大直拉硅单晶的直径,仍是今后硅单晶发展的大趋势。硅ICs工艺由8英寸向12英寸的过渡将在近年内完成。预计2016年前后,18英寸的硅片将投入生产。 从进一步缩小器件的特征尺寸,提高硅ICs的速度和集成度看,研制适合于硅深亚微米乃至纳米工艺所需的超高纯、大直径和无缺陷硅外延片会成为硅材料发展的主流。
二、光电信息功能材料研究新进展
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