第五章 气相沉积技术
气相沉积技术是通过气相材料或使材料气化后沉积于固体材料或制品(基片)表面并形成薄膜，从而使基片获得特殊表面性能的一种新技术。近40年来，气相沉积技术发展迅速，已在现代工业中得到广泛应用并展示了更为广阔的发展和应用前景。
5.1 物理气相沉积5.2 化学气相沉积技术5.3 气相沉积技术制备薄膜思考题