多层膜声表面波滤波器的优化设计
声表面波技术是声学和电学结合的一门边缘学科。由于其特有的性质,使其很容易的模拟出电子学的各种功能,并且实现多功能化和小型化。
声表面波滤波器就是结合了声表面波的各种优势,在无线数据传输、通信等领域获得了广泛的应用。近年来,随着第三代移动通讯系统的飞速发展,对双工器和声表面波滤波器市场代来了巨大的需求,高频、低损耗的声表面波器件成为主要的研究对象。
但传统的声表面波材料,由于其声速低,一般低于4000m/s,所以对于高频的声表面波器件来说对于制造叉指的光刻工艺提出了更高的要求。为了获得高频的声表面波器件我们还可以在叉指宽度不变的前提下,提高基底材料的声速。
GHz频段的高频声表面波(SAW)器件,SAW波长很短(几个μm),基片表面粗糙、缺陷和晶界均容易造成散射产生能量损失。所以,对于制造高频金刚石多层膜SAW器件来说,所关心的是CVD金刚石膜平面度、光洁度,缺陷密度造成的声传播损失等,而杂质控制则是次要的要求。
类金刚石(DLC)薄膜具有和金刚石薄膜相近的硬度、抗磨性、高电阻率、耐化学腐蚀性能,而且表面光滑、缺陷少、沉积温度低、面积大、成本低廉、易于和集 ...