分子泵简介
分子真空泵
分子泵发展历史
分子真空泵（分子泵）是1913年德国人盖德（W. Gaede）发明的，之后他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础。——利用了气体的外摩擦输运现象，也就是分子牵引力，所以称为牵引分子泵。1956年，德国人贝克（W. Becker）发明了涡轮分子泵，以高速旋转的动   叶片和静止的定叶片配合来实现抽气，极限压强可达10-9Pa以下。1972年出现了涡轮-牵引复合分子泵，采用螺旋动密封，可直接向大气排   气。近年来，空气轴承和磁悬浮轴承的应用，使分子泵作为清洁真空获   得设备更加完善。