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碳化硅、氮化镓和扎镓石榴石衬底β-Ga2O3外延薄膜的制备及性质研究
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2025-03-18
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碳化硅、氮化镓和扎镓石榴石衬底β-Ga2O3外延薄膜的制备及性质研究.pdf
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