犐犆犛７１．１００．２０
犌８６

中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准
                           犌犅／犜３８８６７—２０２０


         电子工业用四氯化硅
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２０２００７２１ 发布                        ２０２１０２０１ 实施
         国家市场监督管理总局           发布
         国家标准化管理委员会
                          犌犅／犜３８８６７—２０２０
              前   言
  本标准按照 ＧＢ／Ｔ１．１—２００９ 给出的规则起草 。
  本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出并归口 。
  本标准起草单位 ：湖北晶星科技股份有限公司 、湖北省标准化与质量研究院 、洛阳中硅高科技有限
公司 、唐山三孚电子材料有限公司 、湖北光谷标准创新科技有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、浙江
西亚特电子 ...