直拉单晶硅工艺技术
第二章 直拉单晶炉
直拉单晶炉是用于直拉法单晶生长的设备。炉子分两部分组成：机械部分和电控系统。炉体为一带水套的不锈钢炉室，其内装有由石墨加热器和石墨保温套构成的热场。籽晶轴和坩埚轴分别从炉室顶部和底部插入炉内，两轴具有转动和升降的机械传动系统。下轴顶端装有石英坩埚，埚内可装入多晶硅料以供拉晶用
     为了提高生产效率，降低成本，也为了保证器件参数的一致性、可靠性，都希望直拉单晶大直径化，设备控制高度自动化。目前世界上已制造出了装料量达400kg以上，单晶直径达300mm以上，从抽空到拉晶结束全部自动化控制，且稳定性、可靠性极好的大型直拉单晶设备。为了提高单晶的内在质量或者某方面参数的特殊要求，也出现了磁场法直拉单晶炉和具有两个主炉室的连续加料直拉单晶炉等。
直拉单晶炉的需求