特气管
GAS&Chemical Part2015.07.02
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一、
        一般在半导体制造业我们把砌体分为大宗气体（Bulk Gas）和特种气体（Special Gas）两种。大宗气体一般是指集中供养且用量较大的气体，涵盖制程用气如：PO2、Par 、PH2
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二、
我们将半导体制造业所使用的不同特种气体一般按照使用时的特性分为五类：1、易燃性气体（Flammable G
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