课程总体介绍-教材及参考书
教 材
半导体制造技术：Semiconductor Manufacturing Technology；Michael Quirk，Julian Serda著；韩郑生等译；电子工业出版社，2009；
参考书
微电子制造科学原理与工程技术，曾莹等译，电子工业出
版社，2005；硅超大规模集成电路工艺技术-理论、实践与模型，严利
人等译，电子工业出版社，2005；集成电路工艺基础，王阳元，高等教育出版社，1991.
ULSI Technology，C.Y.Chang，S.M.Sze，Mcgraw-Hill College，1996


Chapter1.pdf
ic_fab_tech_chap2_wafer[兼容模式].pdf
ic_fab_tech_chap5_depo.pdf
Lecture notes-Charpter 1-Intro[兼容模式].pdf
Chapter3.pdf
ic_fab_tech_chap4_oxide.pdf
chapter5.pdf
chapter4.pdf
chapter7.pdf
chapter13.pdf
chapter2.pdf
Chapter3_IC_process_intro.pdf
chapter6.pdf
chapter10.pdf
chapter11.pdf
chapter8.pdf
chapter12.pdf
chapter9.pdf