PE为什么采用下镀膜？
PE危险气体有哪些？
遇到特气报警
怎么办？
台达下料台下部最多可以放置几个盛满硅片的花篮？
Roth&Rau
分哪几个腔室？
Spc几单测试一次？
膜厚可控范围及规格范围是多少？
折射率可控范围及规格范围是多少？
硅片的线痕方向？
10、Roth&Rau
PM时间周期是多少？
11、上料腔的加热方式？
12、加热腔与反应
腔加热方式？
13、折射率与
哪种特气的
量有明显关系？
14、一个石墨载板装载
多少硅片？
15、上料腔平衡压强时充入的是什么气体？
16、PE镀膜时采用什么电离气体？
17、为什么不能让未装满硅片的
石墨载板进入
sina
机？18、spc测量的是
石墨载板哪个
位置的硅片？
19、PE镀膜反应方程式？
20、测量膜厚和折射率采用仪器的名称？
21、工艺腔包括哪几部分？
22、镀膜面朝向花篮的哪个方向？
23、PE一条生产线共有几个石墨板？
24、能否让空载
盘进入上料台下部？
25、Roth&Rau
是哪国生产的？
26、若发现盛有已镀膜的硅片的
石墨载板进入
sina
机该怎么办？
27、台达操作台上料硅片用什么颜色表示？
28、台达 ...