高温扩散设备简介
前段设备：裴文龙

工作条件要求供电：三相五线制；单台(4管)总功率≤140KVA。供水：3／4“管供自来水，水压0.1～0.3MPa，冷却用；去离子水，清洗   及工艺用。 供气：N2、O2 、压缩空气，进气压力0.3～0.6Mpa，工艺气体（POCL3)纯度99.99% 。气源柜、废气室、净化台顶部均应接入排毒、排气管道。