SiC表面纳米金属颗粒增强MSM型紫外探测器研究
当人们探索紫外光源在紫外光刻机、紫外消毒、紫外养生等方面的应用时,对紫外光的探测必不可缺。目前市场上销售的紫外探测器性能优缺点各异,缺乏良好的性能提升。
碳化硅(SiC)作为第三代半导体,除了具有大的禁带宽度,良好的耐高温、耐高压、耐腐蚀特性外,对于紫外光的敏感性,以及相对成熟的高阻SiC外延制备技术,使得SiC成为制造紫外探测器不可多得的材料。目前的SiC紫外探测器中,以金属-半导体-金属型(MSM)居多,然而SiC MSM型探测器低的探测性能成为制约其进一步发展的羁绊。
本论文中,首先利用半导体器件制备工艺建立了SiC MSM型紫外探测器的制备流程,细化了工艺细节,研制出SiC MSM型紫外探测器;然后在SiC MSM型紫外探测器表面制备了纳米银(Ag)和纳米铝(Al)金属颗粒,研制出纳米金属颗粒增强的SiC MSM型探测器;最后测试并研究了纳米金属颗粒的增强效果。研究结果表明,与SiC MSM型紫外探测器相比,纳米Ag颗粒增强的SiC MSM型紫外探测器,在偏压5 V时,使用汞灯和氘灯照射,灵敏度分别提高了14.4倍和6.5倍,在 ...