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2025-03-20
电子显微镜(4)
第五章 电子显微镜的结构
电子显微镜一般由电子光学系统,信号收集及显示系统,真空系统及电源系统组成。
武汉理工大学资环学院 管俊芳
1 电子光学系统 (1)
   电子光学系统由电子枪,电磁透镜,扫描线圈和样品室等部件组成。   其作用是用来获得扫描电子束,作为产生物理信号的激发源。   为了获得较高的信号强度和图像分辨率,扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。
武汉理工大学资环学院 管俊芳
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