微电子器件49
这时器件及集成电路的性能发生如下改变：
    2、恒场按比例缩小法则的局限性
    (1) 亚阈区摆幅 S 不变会使亚阈电流相对增大，对动态存储器特别不利。
    (2) 某些电压参数不能按比例缩小，例如 Vbi 和 2FB 等。
    (3) 表面反型层厚度 b 不能按比例缩小。可以将反型层看作一个极板间距为 b 且与 COX 相串联的电容 ，使总的有效栅电容偏离反比于 TOX 的关系而逐渐饱和。
    (5) 电源电压不能完全按比例缩小。
    (4) 寄生电阻的限制。