张小只智能机械工业网


       大连理工自制金刚石刀具 开辟制造新型纳米结构硅新途径

      国家自然科学基金委创新研究群体“精密制造理论与技术基础研究”在硅的变
形诱导制造新型纳米结构方面取得重要进展，张振宇教授及其博士生王博、崔俊峰等
以“New Deformation-Induced Nanostructure in Silicon”为题发表在国际顶级期刊 Nano
Letters。
   硅主导了消费电子、太阳能电池、光伏产业、半导体器件，成为世界上最大的
产业-电子工业的基础。纳米结构的性能相对于块体材料得到了明显的改善，因此硅的
变形诱导纳米结构在过去的 50 年中受到了广泛关注和研究。目前的变形诱导方法主要
是金刚石砧板、压缩、划擦、弯曲、纳米压痕和纳米划擦。金刚石砧板是采用静水压
力的准静态方法加载。划擦的切削速度为 2.67-10       mm/s，在微米尺度而不是纳米尺度
表征硅的显微结构的变化。纳米划擦的速度是 0.4μm/s，纳米压痕在空气中和原位透射
电镜中的速度分别为 8 和 60     nm/s，透射电镜原位纳米力学弯曲加载的速度为 1 ...