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          LCD 清洗技术现状及展望

LCD 清洗技术现状及展望   LCD 清洗属于精密清洗领域，对清洗的质量、效率要
求很高，以前,LCD 工厂大多使用的是 ODS 清洁剂和超声气相清洗技术，在国际上加
速淘汰 ODS 清洁剂的压力下，LCD 厂正在积极选用替代 ODS 清洁剂(或称非 ODS 清
洗剂)，替代清洗剂必须保证清洗的 LCD 质量不低于原用 ODS 清洗剂的清洗标准,甚至
更高。本文简单介绍 LCD 替代 ODS 清洗技术和不用或少用清洗剂的物理清洗技术,并
对其未来的发展进行了简单评说。 一、非 ODS 清洗技术 到目前为止，LCD 行业已有
15 家企业参与了《我国清洗行业 ODS 整体淘汰计划》
              ，并获得国际多边基会赠款。其
中已有 10 家企业的替代设备投入运行。但仍有少数 LCD 厂继续使用 CFC-113 及
TCA。部分已淘汰 ODS 清洗剂的企业也面临进一步优选工艺、设备及非 ODS 清洗
剂，以便提高 LCD 清洗品质及效益的问题。以下讨论 LCD 行业非 ODS 清洗技术的现
状。 ...