真空机组使用说明及其注意事项
一真空机组开机流程
1、启动VB150
维持泵，然后打开出口阀。当电阻计
2真空度达到
5帕以下时，启动扩散泵加热。
2、启动VB200
旋片泵，打开旁通阀；当电阻计
1真空度达到
2000
帕以下时，开启
2ZJP—300
罗茨泵，进行预抽。
3、扩散泵加热
50分钟以上且电离计真空达到
5帕以下时，先关闭旁通阀，再打开主阀，进行主抽。
4、关闭2ZJP—300
罗茨泵，
30秒后关闭
VB200
旋片泵。
二真空机组关机流程
1、关闭主阀。
2、启动-----
关机程序。
三真空机组使用注意事项
1、真空机组在使用的整个过程当中
，必须保证水路、气路完整通畅。
2、必须严格按照
真空机组的开机、关机流程，进行操作。
3、扩散泵加热过程当中
，若不慎断水。应该先
关闭扩散泵电源，再关闭主阀。然后摘下扩散泵电炉加热器，并使用电风扇进行降温。在这过程当中
，要一直保持
VB150
维持泵和出口阀处于开启状态。
4、扩散泵加热过程当中
，若VB150
维持泵出现故障不工作，应该先
关闭出口阀，然后启动
VB200
旋片泵，再启动
2ZJP—300
罗茨泵，打开 ...