立式炉安全操作章程
1. 目的
为DJ-802V型LPCVD立式炉的开关机安全操作以及设备紧急避险提供指导。
2. 范围：
本规程适用于DJ-802V型LPCVD立式炉安全技术操作。
3. 参考
《设备安全使用管理制度》
4. 职责
4.1. 设备工程师负责设备的正常开、关机操作的培训和指导；
4.2. 扩散操作者以及设备工程师等相关人员可执行设备的紧急避险程序。
5. 开机前确认
5.1. 开机前确认住控制器开关、传片单元开关、显示器开关、炉体加热开关、控制器电源开关、DN-130P极限温度控制器电源开关、FFU电源开关、照明灯电源开关都在OFF位置；若不在，则将开关调整至OFF位置。
图片5.2. 开机前动力条件确认：打开阀门后观察氮气压力、硅烷压力、
二氯二氢硅压力、笑气压力、氨气压力、压缩空气压力、冷却水压力均在压力表绿色区间内。气体压力，SiH4：2plusmn;1kg/cm2，SiH2CL2：0.7plusmn;0.1 kg/cm2，N20：2plusmn;1 kg/cm2，氨气：2plusmn;1 kg/cm2，N2：2plusmn;1 kg/cm2，压空：5plusmn ...