Low-thermal-budget synthesis of monolayer molybdenum disulfide for silicon back- - 经管之家

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Low-thermal-budget synthesis of monolayer molybdenum disulfide for silicon back-

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【作者(必填)】

【文题(必填)】Low-thermal-budget synthesis of monolayer molybdenum disulfide for silicon back-end-of-line integration on a 200 mm platform
【年份(必填)】April 2023Nature Nanotechnology 18(5):1-8

【全文链接或数据库名称(选填)】https://www.researchgate.net/pub ... n_a_200_mm_platform

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暮雨歆查看完整内容

Low-thermal-budget synthesis of monolayer molybdenum disulfide for silicon back-end-of-line integration on a 200 mm platform

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2023-7-5 10:06:33

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