微电子工艺技术：课件+作业及答案
专业：集成电路设计与集成系统设计


微电子工艺技术（集成）2018-2019期末测试卷B卷.pdf
微电子工艺技术复习概要CH7-CH12.pdf
微电子工艺技术复习概要CH3-CH6.pdf
一、2018作业及答案HW
微电子工艺技术课后作业HW8Solutions.pdf
微电子工艺技术课后作业HW8.pdf
微电子工艺技术课后作业HW6Solutions.pdf
微电子工艺技术课后作业HW7.pdf
微电子工艺技术课后作业HW7Solutions.pdf
微电子工艺技术课后作业HW4Solutions.pdf
微电子工艺技术课后作业HW6.pdf
微电子工艺技术课后作业HW4.pdf
微电子工艺技术课后作业HW5.pdf
微电子工艺技术课后作业HW5Solutions.pdf
微电子工艺技术课后作业HW3.pdf
微电子工艺技术课后作业HW3Solutions.pdf
微电子工艺技术课后作业HW2.pdf
微电子工艺技术课后作业HW2Solutions.pdf
微电子工艺技术课后作业HW1.pdf
微电子工艺技术课后作业HW1Solutions.pdf
思考题自己思考不需要缴交


二、2021课件

微电子工艺技术（IC2021）CH1绪论.pdf
微电子工艺技术（IC2021）CH8化学气相淀积CVD.pdf
微电子工艺技术（IC2021）CH9光刻工艺.pdf
微电子工艺技术（IC2021）CH6离子注入工艺.pdf
微电子工艺技术（IC2021）CH7物理气相淀积PVD.pdf
微电子工艺技术（IC2021）CH4氧化工艺.pdf
微电子工艺技术（IC2021）CH5扩散工艺.pdf
微电子工艺技术（IC2021）CH11金属化工艺.pdf
微电子工艺技术（IC2021）CH3晶圆制备.pdf
微电子工艺技术（IC2021）CH2半导体工艺技术基础.pdf
微电子工艺技术（IC2021）CH12化学机械抛光CMP.pdf
微电子工艺技术（IC2021）CH10刻蚀工艺.pdf