微电子发展史
本课程的目的
什么是微电子学和微电子学是研究什么的；对微电子学的发展历史、现状和未来有一个比较清晰的认识；初步掌握半导体物理、半导体器件物理、集成电路工艺、集成电路设计、集成电路CAD方法、MEMS技术、特种微电子器件、纳米电子学、分子电子学等基本概念，对微电子学的整体有一个比较全面的认识。
微电子技术发展历史 半导体物理半导体器件基础 集成电路制造工艺 集成电路设计 特种微电子器件 微机电系统 纳米电子学分子电子学微电子技术发展的规律和趋势