薄膜材料成分分析方法.ppt
       到目前为止，对薄膜结构和成分分析的研究方法已达一百多种。但它们具有共同的特征：利用一种探测束——如电子束、 离子束、光子束、中性粒子束等，从样品中发射或散射粒子波，他们可以是电子、离子、中性粒子、光子或声波，检测这些粒子的能量、动量、荷质比、束流强度等特性，或波的频率、方向、强度、偏振等情况，来分析材料化学组成、原子结构、原子状态、电子状态等方面的信息。
表面分析方法的特征注：输入箭头表示探测粒子或手段，输出箭头表示发射粒子或波
薄膜成分分析方法介绍
按探测“粒子” 分类，表1列出一些薄膜成分分析方法。