培训系列之真空镀膜技术基础
《真空技术》
一. 真空技术概况 （巴德纯）二. 真空工程理论基础 （张世伟）三. 干式真空泵原理与技术基础 （巴德纯）四. 真空系统组成与设计基础 （刘坤）五. 真空获得设备原理与技术基础 （张以忱）六. 真空测量技术基础 （刘玉岱）七.真空镀膜技术基础 （张以忱）八. 质谱原理与真空检漏 （刘玉岱）九. 真空冶金技术基础 （王晓冬）十. 真空与低温技术及设备 （徐成海）
东北大学第八期
培训系列之
主要内容
1. 真空镀膜概论2. 真空蒸发镀膜3. 真空溅射镀膜4. 真空离子镀膜和离子束沉积      技术