微电子产品可靠性
SiO2上小晶粒(<1μm)Al膜高温少循环表面再结构的SEM照片    左图为热处理前,右图为热处理后(T=400℃,         10次循环每次15分钟)
2，低温多循环再结构―电极温度低、变化大，变化次数多。
⑴ 特点：金属化表面粗糙不平，出现皱纹；⑵ 皱纹产生原因：压缩疲劳引起的塑性形变；⑶ 后果：使Al膜的晶粒长大，变胖，长出晶瘤，常常是短间距的金属化器件极间瞬时短路的主要原因之一。