多孔硅相对湿度传感器的研究
湿度传感器作为一种重要的传感器,在人类生产生活中也发挥着举足轻重的作用。湿度传感器自问世以来,已经有约两百年的历史,在这两百年中湿度传感器的发展速度惊人,现在已经朝着微型化、智能化、集成化等方向发展。
本文从湿度传感器的感湿材料氧化多孔硅(OPS)出发,着眼于相对湿度传感器的结构,比较了几种传统多孔硅相对湿度传感器的结构,并在此基础上设计出了新的结构,最后给出了制作该传感器的工艺方法。本文的主要工作成果有：1、探索了制备多孔硅材料的新方法,新装置,在现有双槽的基础上设计出了一套新的制备多孔硅材料的新装置,该装置可以适应大面积以及特定位置的多孔硅的制备。
2、比较了传统电容式湿度传感器两种结构的优劣,并在此基础上设计出了本文新的结构,并且从理论和实验上论证了该结构的优点。该结构使用了多晶硅作为加热电路为传感器除湿,保证传感器的自解吸附。
电极上面淀积一层钝化层Si3N4,可以有效的防止电性能的退化,并防止潮湿、离子或其他外部沾染物等原因引起的漏电流的通路,影响下次测量。3、对该结构的湿度传感器进行工艺制备,使用了硅通孔工艺进行金属电极的填充。