微电子学概论--Chap10
引  言
信息系统微型化系统体积大大减小性能、可靠性大幅度上升功耗和价格大幅度降低信息系统的目标：微型化和集成化微电子解决电子系统的微型化非电子系统成为整个系统进一步缩小的关键
MEMS
微电子学