犐犆犛０１．０４０．３９
犖１０

中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准
                         犌犅／犜３８６１４—２０２０


基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的
  纳米定位与扫描平台测量方法
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２０２００４２８ 发布                     ２０２０１１０１ 实施
         国家市场监督管理总局         发布
         国家标准化管理委员会
                   犌犅／犜３８６１４—２０２０
          目  次
前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ
１ 范围 ……………………………………………………………………………………………………… １
２ 规范性引用文件 …………………………………………………… ...