亲水性固结磨料研磨抛光垫自修整的影响因素
传统研磨抛光技术中,由于磨粒的游离特性,其固有的一些缺点无法克服,如磨料分布的随机性,磨料利用率低,因此新型固结磨料研磨抛光技术受到了研究人员越来越多的关注。自修整特性作为亲水性固结磨料研磨垫最主要的特性之一,直接影响着加工效率和被加工工件表面质量。
本文采用实验与理论相结合的方法,探索了影响亲水性固结磨料研磨垫自修整性能的主要因素及自修整过程的实现机理。主要完成的工作有:1、建立了固结磨料研磨抛光垫与工件接触的力学模型。
分析了研磨垫表面载荷的分布,结果表明:在相同载荷下,随着工件材料硬脆性的提高,工件和研磨垫的实际接触面积减小,但研磨垫表面单颗磨粒受力变大,工件表面质量也越差;同时,通过对研磨过程中研磨垫表面单颗磨粒受力分析,阐述了研磨垫表面金刚石磨粒的脱落过程。2、探索了亲水性固结磨料研磨垫(FAP)的基体特性与其加工性能之间的关系。
采用三种不同硬度的树脂基体作为粘结剂,通过添加碳化硅颗粒和成孔剂的方式改变研磨垫特性,制备了6种FAP,对其研磨加工性能进行了评价。结果表明:基体的硬度与溶胀率、砂浆磨损特性呈逆对应关系。
基体的硬度对研磨 ...