亲水性固结磨料研磨垫自修整性能定量研究
随着微电子、光电子、传感器技术和材料技术的不断发展,各类光学材料得到了广泛应用,同时也对光学材料的超光滑无损伤加工提出了更高的要求。传统固结磨料研磨抛光技术由于结合剂的硬度较大,加工光学材料时易产生较大的损伤层,严重影响光学材料的加工效率和使用性能,由此亲水性固结磨料研磨抛光技术应运而生。
自修整性能作为亲水性固结磨料研磨抛光垫(FAP)最主要的特性之一,直接影响着加工效率和被加工工件的表面质量。本文采用理论分析与试验探索相结合的方法,建立亲水性FAP自修整性能与主要影响因素之间的定量关系。