薄膜制备技术_图文.ppt
半导体器件电路连接电极光探测器件半导体激光器光学镀膜
所生长的材料以物理方式由固体转化为气体；生长材料的蒸汽经过一个低压区域到达衬底；蒸汽在衬底表明上凝结，形成薄膜。
“物理气相沉积” 通常指满足下面三个步骤的一类薄膜生长技术: