2014年大陆进口半导体设备总额为43.66亿美元。根据中国电子专用设备工业协会的统计，2014年1~12月中国大陆13种主要半导体设备进口数量为14647台，进口额为43.66亿美元，平均单价29.8万美元。考虑到2014年国内主要设备厂商的产值约39.63亿元，那么2014年国内半导体设备市场总额接近50亿美元。
    表1：2014年国内主要进口设备及国内主要设备厂商（单位：亿美元）

    制造半导体器件或集成电路的化学气相沉积装臵、等离子体干法刻蚀机和分步重复光刻机等三种设备共进口1578台、25.35亿美元，位居进口额的前三位。其中：制造半导体器件或集成电路的化学气相沉积装臵进口10.11亿美元，占进口总额的23.2%，位居首位；等离子体干法刻蚀机进口8.45亿美元，占进口总额的19.4%；分步重复光刻机进口6.79亿美元，占进口总额的15.5%。 制造硅单晶和硅片设备中的硅单晶炉、切割机和研磨机等三种设备，2014年共进口1871台、3.43亿美元。其中，切割设备进口1298 台、2.3亿美元，硅单晶炉进口239台、6303万美元，研磨机进口334台、4943万美元。 后封装设备中的引线键合机和塑封压机二种设备共进口8828台、5.56亿美元。其中引线键合机进口8463台、4.71亿美元。 尽管整体规模仍然较小，国内已经建立了较为完备的半导体设备产业，在各个环节都有多家设备厂商。随着技术实力和客户认可度的不断提升，国产设备有望实现由低端向高端，逐步实现部分产品的进口替代。