Clean Room介紹
報告日期:87.3
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一、何謂無塵室clean room? 一個房間或工作區域其內部空氣之落塵(Particle)用 人為之控制使其數量在一定數目中稱為無塵室二、clean room之等級 無塵室等級區分依美國聯邦U.S.Federal Stander 209E,針對落塵量分為六個等級廠內clean room作業區依製程需求可分三類: A類:無塵等級為十萬級環境不控制 如鉚釘室、P.P倉、銅皮倉、印刷、綠漆曝光室 B類:無塵等級一萬級 如內外層曝光室、疊板室、網版製版、乾膜倉 C類:無塵等級一千級,如繪圖區、暗房
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