单晶炉安全操作规范
1、开机安全检查
单晶炉开机、装料前,应对电气、机械、液压等部分进行检查,使单晶炉电极处于无电压输出,各机械传动安全可靠;
1)检查主加热器处于关闭状态(是否切断主回路的空开?);
2)欧陆表输出设定为
;3)上炉膛、炉盖、付室的机械联接部位螺丝无松动现象;
4)检查上、炉膛、炉盖付室的液压升降应正常;
2、装炉时安全事项
在开机检查正常情况下,可以装炉,同时在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌;
3、抽真空安全事项
1)开真空泵前,应检查真空泵房,确保对应本设备的真空泵及管道处于无其他人员操作状态;
2)按真空泵操作章程
正确操作;
3)抽真空过程当中
,应检查各环节的密封圈处于正常,应无脱落、装反等现象;
4)在单晶炉真空状态过程当中
,严禁用手或其他物品碰触或堵漏气处,以免造成人身或设备损害,如发现漏气,应按停炉恢复常压规程操作;
4、装炉、装料、拆炉、清炉、清理真空泵及真空管道过程的安全事项
1)按工艺操作章程
进行正确操
作;2)必须在主加热器处于关闭状态、欧陆表输出设定为
的状态下操作;
3)在控制柜现眼位置悬挂禁止合闸警示牌;
4)禁止操作人员身体处于液 ...
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