摘要：在半导体自动化制造过程中产生大量的数据,为应用数据挖掘技术进行有效的过程监控提供了条件.提出在运用数据挖掘技术中聚类分析方法的基础上,对不合格批产品的加工路径进行分析,从而准确地将控制对象定位于某些问题设备,并结合统计过程控制的手段加强监控.

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