【作者(必填)】简祯富(Chen-Fu Chien) ； 王宏锴(Hung-Kai Wang) ； 傅文翰(Wen-Han Fu)

【文题(必填)】「工业3.5」之先进智慧制造系统架构：半导体智慧制造为例

【年份(必填)】2018

【全文链接或数据库名称(选填)】http://www.airitilibrary.cn/Publ ... -201811300003-15-34