1 半导体设备零部件洗净服务市场概述1.1 半导体设备零部件洗净服务市场概述

本文研究半导体设备零部件洗净服务（Cleaning for Semiconductor Equipment Parts），为半导体制造企业设备提供定期洗净服务，包含TF部门（Thin film，薄膜）的PVD,CVD 薄膜沉积设备、Diffusion（扩散）部门的扩散设备、光刻部门的设备、ETCH（蚀刻）部门的设备等集成电路制造企业核心设备的洗净服务。如清洗Al Collimator、Al Cover Ring、PVD 工艺Shield 类、CVD 工艺Shower head、Quartz Window和Quartz pedestal等。

生产过程中，半导体设备部分零部件表面会沉积覆着物或被刻蚀副产物污染，有效的污染控制是保证和提高集成电路产品良率的必要条件，为确保生产功效，定期对上述生产设备进行洗净，是芯片制造过程中必不可少的环节。