教材
微系统设计与制造，王喆垚著
微系统设计，Stephen D.Senturia著（电子工业出版社翻译）
Foundations of MEMS，Chang Liu


天津大学《微系统技术》课件lecture1_introduction-2020.pdf
天津大学《微系统技术》课件Lecture02-IC+fabrication.pdf
天津大学《微系统技术》课件Lecture03-MEMS fabication.pdf