工艺与器件的可靠性分析ppt
目 录
1. 电子器件可靠性研究的意义；2. 电子器件可靠性的内容；  1). 设计可靠性；  2). 工艺可靠性；  3). 封装可靠性；  4). 使用可靠性；  5). 系统可靠性。3. 设计可靠性  1). 使用对器件性能的要求；  2). 环境对器件的要求；  3). 设计的宽限度
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4.工艺可靠性 1).氧化 2).扩散 3).离子注入 4).光刻 5).隔离 6).接触 7).互联 8).封装