MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）将微电子技术与机械工程融合生发出一种新的工业技术，是指集由于设备系统非常小，故被称为微机电系统。MEMS一般由尺寸在1~100微米间的元器件构成，其本身一般在20微米——1毫米间。
    与传统机械系统相比，MEMS系统具备以下优势：
    1. 微型化和集成化；
    2. 低能耗和低成本：采用一体化技术导致能耗大大降低，同时由于采用硅微加工技术和半导体集成电路工艺，一旦开发成功，较一般机械系统更易规模化生产从而摊薄成本；
    3. 高精度和长寿命：产品性能的优越性和各元件之间的协调性匹配良好；
    4. 动态特性好：微型化、体积小、响应速度快、固有频率高都使MEMS系统具有优异动态特性。
    国内MEMS制造规模尚不算大，但需求市场则迅速扩张。在去年不利宏观经济环境冲击了全球半导体的情况下，国内MEMS市场增速达到19%，达到19亿美元。IHS iSuppli预计2013年国内MEMS需求规模将达到23亿美元，到2016年将超过30亿美元，三年间年复合增长率在13%以上。
    图1、国内MEMS需求市场预测
    终端设备和应用的不断升级对本身轻薄性和便携度提高也直接拉动MEMS技术的快速发展。目前主要有以下三种应用类型：传感器、驱动器和基本结构，其中MEMS传感器从最初由苹果公司在iPhone上应用传感器实现屏幕自动旋转技术开始，迅速成为MEMS领域最迅速增长的部分，在移动智能终端设备中已经获得了广泛应用并持续升级中，需求面加速扩大。报告将主要针对移动智能终端使用较多的MEMS传感器展开分析与讨论。
    据IHS iSuppli预测，今年用于智能手机和平板电脑的MEMS运动传感器收入规模将达到15亿美元，与去年的13亿美元相比预计同比上升13%。尽管该增速远低于之前2012年的21%和2011年强劲增长的85%，对比近两年低迷的整体半导体景气度来说已明显高于平均水平，可谓增长迅速。
    IHS iSuppli同时预测未来三年内，用于智能手机和平板电脑的MEMS运动传感器仍将维持两位数以上的增速，到2015年达到22.1亿美元。
    图2、全球智能手机和平板电脑用MEMS运动传感器收入规模预测


中国微机电系统（MEMS）市场需求分析：http://www.tianinfo.com/news/news5041.html