MEMS在广泛领域都有涉及应用,集成度提高和性能升级是主要趋势。运动跟踪和手势识别方面应用突出的有体感游戏机,MEMS引爆、发射装置已成功用于潜艇鱼雷对抗武器上。
MEMS在生物医疗和医学等方面也非常广泛。例如将传感器皮下注射入或口服进入人体以实现直接检测甚至某些简单医疗操作。外科手术、自动送药也越来越常使用MEMS。MEMS的微小使其可进入很小的器官和组织并智能化、自动进行细微精确的操作,大大提高介入治疗的精度 ,直接进入相应病变地进行工作 ,既直接又方便,降低了危险性。未来MEMS在医学应用领域的空间也不可小视。
图1、安装在眼球上的MEMS药物传输系统

2012年MEMS中表现突出的当属MEMS
麦克风,在下游应用领域需求拉动作用下快速增长。IHS iSuppli数据显示去年全年MEMS麦克风出货量在20.5亿颗左右,同比增长57%。预计今年出货量将在26.6亿颗的水平,未来三年内快速增长势头不减,到2016年达到46.5亿颗。
图2、全球MEMS麦克风出货量预测

MEMS麦克风由于能给设备提供更清晰的音质,在手机、笔记本、耳机和媒体平板等设备中渗透率不断上升。它在机顶盒和汽车产业中的应用也在快速增加中。性价比提升是MEMS麦克风需求增长的主因之一。尽管其成本仍然高于ECM(Electret Microphone),但两者价格差正不断缩小,且MEMS麦克风相对ECM在可靠性、性能和批量生产的难易程度等方面都具备优势,品牌厂商因此都更愿意选择性能更好的MEMS麦克风。
MEMS全球应用领域现状分析:
http://www.tianinfo.com/news/news5097.html