电子气体的原料主要为空气分离气体、石油化工和煤化工生产过程中产生的低纯度原料气及废气和其它基础化工原料。主要原材料来源广泛,市场供应充足,较容易从相关原材料供应厂家获得。我国大型炼钢企业以及化肥企业基本配备了空气分离设备,空分气体供应量大且价格稳定。电子特种气体对原料气体的消耗量占石油化工和煤化工原料气产量的比例很小,稳定的石化和基础化工行业能向电子特种气体行业提供充足的原材料。随着“十三五”规划对环境保护以及工业废气排放目标的进一步明确,上游行业的供应将更为充足。而气体容器因能长期反复使用,在电子气体成本中占比相对较低,其价格的波动对行业影响较小。
图表1:部分电子气体制备方法

电子气体是晶圆制造过程中的重要材料,广泛应用于成膜、刻蚀、掺杂、气相沉积等工艺环节中,在半导体工业中应用的有110余种电子气体,常用的有20-30种。电子气体是仅次于硅片和硅基材料的第二大市场需求半导体材料,电子气体在2016年的国内半导体材料市场占比达14%。
国内半导体市场发展迅速,近两年在建和未来规划建设的产能为电子气体提供广阔的空间。国家成立“大基金”,募集超过1300亿元。各地ZF也纷纷设立相应基金,扩大生产规模,支持厂商发展。根据国际半导体协会(SEMI)的数据显示,2016、2017年新建的晶圆厂至少就有19座,其中高达10座都将落脚中国。
随着半导体产业的发展,全球半导体用电子气体市场也随之增长,2016年达到36.8亿美元。而随着半导体产业链向国内转移,国内电子气体市场增速明显,远高于全球增速。其中半导体产业用电子气体所占比例不断提升,从2015年37.7%到2016年的47.6%。
图表2:半导体制造产业材料市场规模占比

国内半导体用电子气体市场将在2020年翻番。随着半导体集成电路技术的发展,对电子气体的纯度和质量也提出了越来越高的要求。电子气体的纯度每提升一个数量级,对下游集成电路行业都会产生巨大影响。集成电路占据了半导体产品80%的销售额,业务规模远超半导体中分立器件、光电子器件和传感器三大细分领域。在需求与政策双重推动下,国内集成电路行业高速发展。
2014年国家发布了《国家集成电路产业发展推进纲要》并设立了集成电路产业投资基金,根据规划,我国集成电路销售额年均增速将保持在20%左右,预计2020年将达到8700亿元。若半导体集成电路用电子气体保持同样稳定的增速,国内半导体用电子气体市场将在2020年翻番。