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486 1
2019-01-16
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【作者(必填)】
J. Lorenz ; J. Pelka ; H. Ryssel ; A. Sachs ; A. Seidl ; M. Svoboda
【文题(必填)】
COMPOSITE -- A Complete Modeling Program of Silicon Technology

【年份(必填)】
1985
【全文链接或数据库名称(选填)】https://ieeexplore.ieee.org/document/1270140
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2019-1-16 18:15:52
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