低热噪声MEMS加速度计设计
主讲人：吕易俗
低热噪声MEMS加速度计
加速度计的最小可分辨率是其应用的关键技术要求，为此需要发展低噪声、高灵敏度的MEMS 加速度传感器。噪声是影响加速度传感器应用的关键因素，主要包括热机械噪声和电路部分的电路噪声两部分。加速度计的热机械噪声是传感器的本底噪声，无法通过提高器件灵敏度或电路信号处理的方法降低，是限制加速度计可检测的最小加速度和最小变化量的基本因素。所以，MEMS 加速度计设计在考虑提高灵敏度的同时，还需要同时考虑降低其热机械噪声，尤其是对低噪声、高精度的高端应用。
噪声产生原理
MEMS加速度计的热机械噪声主要来源于空气对加速度计的阻尼作用产生的随机噪声。本设计的加速度计采用对称变面积梳齿电容检测方式，其工作过程中产生的阻尼为滑膜阻尼，避免了压膜阻尼导致的噪声，大幅度降低了低热机械噪声。