伺服系统的发展经历了从液压、气动到电气的过程，目前应用最为广泛的是电气伺服系统。在20世纪50年代以前，最早出现液压伺服系统；随着电气控制技术的发展，50年代出现直流伺服系统并开始在机械设备上逐步普及应用；随着德国MANNESMANN的Rexroth公司1978年在汉诺威贸易博览会上正式推出MAC永磁交流伺服电动机和驱动控制系统，标志着交流伺服系统开始出现。20世纪80年代，交流伺服系统开始大范围普及；90年代随着电子控制技术的升级，伺服系统的控制技术逐渐从模拟信号控制向数字信号控制技术升级，提高了伺服系统的响应速度和控制精度。
    图表1: 伺服系统发展历程

    我国伺服系统的发展历程大致可以分为三个阶段，第一阶段是70年度时期，伺服系统首先被应用于国防科技、军工等高端制造行业。第二阶段是80年度以后，伺服系统开始在一些高端民用制造中得到尝试；2000年以后，随着制造强国等战略的提高，我国制造业水平提到很大提升，伺服系统在我国高端制造业中得到大范围应用，但使用的几乎都是国外的伺服系统。随着国内电机制造水平的大幅提升，交流伺服技术也逐渐为越来越多的国内厂家所掌握，同时交流伺服系统上游芯片和各类功率模块的不断进行技术升级，促成了国内伺服驱动器厂家在短短的不足十年时间里实现了从起步到全面扩展的发展态势。比如数控系统企业中的广州数控，电机和驱动企业中的南京埃斯顿、英威腾、东元、新时达和北超伺服等，运动控制相关企业中的深圳步科、杭州中达，乃至以变频器为龙头产品的台达、汇川等都已纷纷投身伺服产业并实现了产业化、规模化生产。与此同时，国外交流伺服厂商在大陆巨大的潜在市场需求刺激下，大举开拓国内市场，陆续在国内设置工厂或办事处，招募代理商，利用本地资源，批量生产和销售各种规格的交流伺服系统产品。大陆交流伺服市场竞争愈加激烈。国产伺服系统起步较晚。2000年以后国内厂商才真正开始民用伺服系统的研发，目前在功能、性能和工艺方面和国外产品仍有较大的差距。国产伺服电机以小功率的低端产品为主，国产伺服厂商采取的营销策略通常是通过较高的性价比吸引使用精度要求相对较低的客。目前国内厂商已经完成中低端伺服系统研发与量产，但由于加工水平和研发水平的限制，高端伺服系统我国仍处于研发阶段。